利用等离子体点火及夹克式电加热双级燃烧处理超大流量可燃工艺气体

• 特别适用于MOCVD工艺, 专用于超大流量可燃性气体处理
• 操作简便，PLC/Touch Panel自动控制
• 超长PM周期
• 双级及分层燃烧，确保燃烧安全彻底，满足环保排放要求
• 充分利用气体本身的燃烧热，超低的使用成本
• 特殊设计，避免回火问题
• 主要应用行业：第三代半导体、LED
• 主要应用工艺：MOCVD等
• 设备尺寸：1,050(W)x1,487(D)x2,543(H)mm  
• 处理容量：3000LPM