通过直流等离子体超高温使气体氧化燃烧或热分解

配套水洗喷淋，综合处理有害废气

• 出色的PFC气体处理效率
• 超长电极使用寿命
• 出色的整体防腐设计 
• 操作简便，PLC/Touch Panel自动控制
• 三种运行模式，节能设计，能耗超低
• 应用行业广泛：Semi、FPD、Solar、LED
• 主要应用工艺：Etch/CVD等
• 设备尺寸：1500(W)x1400(D)x1950(H)mm  
• 处理容量：3000LPM