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粉尘堆积,避免产品工艺延误及整个机台宕机。同时,可以延长尾气处理器和真空泵的使用寿命。
温度可达400℃,并配置超温保护,PID控制
尺寸可定制,HMI人机数位控制
特氟龙/镀铝外套
航天/太空防爆等级,安全稳定
使用寿命长
主要应用行业:Semi、FPD、Solar、LED
主要应用工艺:Metal Etch、CVD、Diff等
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